1 EINLEITUNG: KLASSISCHE LITHOGRAPHIE 2 STRUKTURERZEUGUNG IN DER ATOMLITHOGRAPHIE 3 STRUKTURÜBERTRAG 4 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK
5 LITERATUR

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Atomlithographie

Mark Rossi
Hauptseminar SS2000
Ultrakalte Atome und Atomoptik





5 Literatur

[1]W.G. Kaenders, F. Lison, A. Richter, R. Wynands, D. Meschede: Imaging with an atomic beam; Nature, Vol. 375, 1995
[2]T. Sleator, T. Pfau, V. Balykin, J. Mlynek: Imaging and focusing of an atomic beam with a large period standing light wave; Appl. Phys., B54 375-379, 1992
[3]D. Haubrich, D. Meschede, T. Pfau, J. Mlynek: Atomlithographie; Phys. Bl. 53 Nr.6 523-528, 1997
[4]B. Brezger, Th. Schulze, P.O. Schmidt, R. Mertens, T. Pfau, J. Mlynek: Polarization gradient light masks in atom lithography; Europhys. Lett., 46 148-153, 1999
[5]R. Gupta, J.J. McClelland, P. Marte, R.J. Celotta: Raman-induced avoided crossings in adiabatic optical potentials: observation of l/8 spatial frequency in the distribution of atoms; Phys. Rev. Lett., Vol 76, No. 25 4689-4692, 1996
[6]U. Drodofsky, J. Stuhler, Th. Schulze, M. Drewsen, B. Bretzger, T. Pfau, J. Mlynek: Hexagonal nanostructures generated by light masks for neutral atoms; Appl. Phys., B65, 755-759, 1997
[7]J.J. McClelland, R.E. Scholten, E.C. Palm, R.J. Celotta: Laser-focused atomic deposition; Science, Vol 262, 877-880, 1993
[8]G. Timp, R.E. Behringer, D.M. Tennant, J.E. Cunningham: Using light as a lens für submicron, neutral-atom lithography; Phys. Rev. Lett., Volume 69, 1636-1639, 1992
[9]V. Natarajan, R.E. Behringer, G. Timp: High-contrast, high-resolution focusing of neutral atoms using light forces; Phys. Rev. A, Volume 53, 4381-4385, 1996
[10]Björn Brezger: Neue Lichtmasken in der Atomlithographie; Erste Auflage, UFO Dissertation Band 381, 1999
[11]http://www.uni-konstanz.de/quantum-optics/
[12]Sze: VLSI Technology, International student edition; 1983
[13]I. Ruge, H. Mader: Halbleiter-Technologie, Dritte Auflage; Springer-Verlag; 1991
[14]Heinz Beneking: Halbleiter-Technologie; Teubner-Verlag Stuttgart; 1991
[15]Mark Rossi: Mikrostrukturierung; Vortrag zu den Übungen in Halbleiterphysik II, Stuttgart, Juni 1999
[16]D. Widmann, H. Mader, H. Friedrich: Technologie hochintegrierter Schaltungen (2. Auflage); Springer-Verlag Berlin Heidelberg New York, 1996
[17]http://www.physics.udel.edu/wwwusers/watson/scen103/intel.html
[18]1999er-Roadmap der SIA
[19]E. Hecht: Optik (2. Auflage); R. Oldenbourg-Verlag, München, Wien, 1999
[20]M. Young: Optik, Laser, Wellenleiter; Springer-Verlag Berlin Heidelberg New York, 1997
[21]Pedrotti, Pedrotti, Bausch, Schmidt: Optik, Eine Einführung; Prentice Hall-Verlag, München, 1996
[22]D. Meschede: Optik, Licht und Laser; Teubner-Verlag Stuttgart, Leipzig, 1999




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